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        半導體特氣檢漏儀

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        半導體特氣檢漏儀特點:
        ¬   于檢測半導體特氣的微量泄漏。
        ¬   采用聲光報警。
         
        半導體特氣檢漏儀規(guī) 格
        型       號
        XP-703D
        檢測對象氣體
        半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
        檢測原理
        型半導體式
        采樣方式
        自動吸引式
        可檢測濃度
        (單位:ppm)
        砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣
        AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
        0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
        檢測表示
        蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
        應答速度
        10秒以內(nèi)
         
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